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FOIの沿革(1994~2000)

FOI(エフオーアイ)の沿革(1994~2000)


2000年12月 資本金を6億4550万円に増資
2000年12月 300mmエッチング装置SE-3000の販売を開始
2000年09月 本社を麻生区柿生に移転し、同所にテクノロジーセンターを開設
2000年06月 4~8インチウエハ用マイクロ波プラズマアッシング装置VA-1000の販売を開始
1999年12月 300mmウエハ用マイクロ波プラズマアッシング装置VA-3000の販売を開始
1998年12月 資本金を1億4550万円に増資
1998年08月 200mmマイクロ波プラズマアッシング装置VA-2000の販売を開始
1998年08月 資本金を5550万円に増資
1998年07月 資本金を4000万円に増資
1997年03月 株式会社神戸製鋼所と共同で、300mm絶縁膜エッチング装置の開発に着手
1996年04月 中小企業創造活動促進法の認定を受ける
1995年08月 FR-J1型クリーンロボット発表 1995年03月 MN-Z型マニュアルプロ-バ発表
1994年10月 かながわサイエンスパーク内に会社を設立。資本金1000万円

FOI(エフオーアイ)が順調に成長していた様子が見てとれます。




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